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MEMS 一词代表微机电系统。这些是一组器件，这些器件的表征可以通过它们的微小尺寸和设计模式来完成。这些传感器的设计可以使用 1-100 微米的元件来完成。这些设备可以从小型结构到非常困难的机电系统，在微电子控制下具有大量移动元件。通常，这些传感器在一个封装中包括机械微执行器、微结构、微电子和微传感器。本文讨论什么是MEMS传感器、工作原理、优点及其应用。
MEMS 是低成本、高精度惯性传感器，用于服务广泛的工业应用。该传感器采用基于芯片的技术，即微机电系统。这些传感器用于检测和测量压力等外部刺激，然后通过一些机械动作对压力做出响应，从而测量压力。最好的例子主要包括用于补偿压力变化的电机旋转。
微机电芯片
MEMS IC 制造可以使用硅来完成，从而将少量材料层放置在硅基板上，否则固定在硅基板上。之后，有选择地固定下来，留下隔膜、横梁、杠杆、弹簧和齿轮等微观 3D 结构。
MEMS 制造需要许多用于构建其他半导体电路的技术，如氧化工艺、扩散工艺、离子注入工艺、低压化学气相沉积工艺、溅射等。此外，这些传感器使用微加工等特殊工艺。
每当 MEMS 传感器发生倾斜时，平衡质量就会产生电势差。这可以像电容变化一样进行测量。然后可以更改该信号以创建稳定的数字 4-20mA 或 VDC 输出信号。
这些传感器是某些不需要最高精度的应用的良好解决方案，例如工业自动化、位置控制、滚动和俯仰测量以及平台调平。
市场上常见的 MEMS 传感器类型有：
•MEMS 加速度计；
•MEMS陀螺仪；
•MEMS压力传感器；
•MEMS 磁场传感器。
MEMS传感器的优点包括以下几点：
•MEMS的制造就像是半导体IC制造一样的低成本批量发明，一致性对于MEMS器件来说也是至关重要的；
•传感器子组件的尺寸将在1至100微米范围内，MEMS器件尺寸将决定20微米至毫米范围；
•功耗非常低；
•易于合并到系统中或进行更改；
•热常数小；
•这些可以高度抵抗冲击、辐射和振动；
•更好的热显影耐受性；
•并行性。
MEMS 传感器用于不同领域，包括汽车、消费、工业、军事、生物技术、太空探索和商业用途，包括喷墨打印机、现代汽车、消费电子产品、个人电脑中的加速度计等。
•Advanced Navigation Certus MEMS GNSS/INS 惯性导航系统
•3DMCV7-AR惯性测量单元 (IMU) 和垂直参考单元 (VRU)
•Advanced Navigation MOTUS MEMS IMU超高精度传感器
